二手 KLA / TENCOR P15 #9407612 待售

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ID: 9407612
Surface profiler Micro head IIsr PN: 401994 Missing computer faceplate Vertical range (m) 6.5 (13) 0.008 32 (64) 0.04 173 (327) 0.2 Power supply: 100 V, 4 A, Single phase, 50 Hz.
KLA/TENCOR P15晶片测试和计量设备是一种精密的半导体质量保证系统,旨在精确测试和测量半导体晶片的特性和性能。它能够在硅仍处于基板形式的情况下进行检测,以及在它被切成单独的集成电路之后进行检测。该装置采用图像识别技术和先进算法对晶片进行分析,具有检测显微镜的特点。向用户提供了在整个图像中突出显示的缺陷及其特征的详细报告。内置的计量机器能够对单个模具进行测量,数据报告精度为1纳米。KLA P-15利用了一个扫描电子束,该电子束是一致的和可重复的,分辨率低至2微米。这样可以进行高精度的稀释,以及对诸如颗粒污染物等缺陷以及污渍、粉尘和电导率进行高效、准确的分析。该工具提供了几种独特的功能,使其与同类工具相比具有很高的准确性和效率。其独特的横梁技术允许同时查看晶圆的顶部和底部,使其速度比传统的单束扫描显微镜快30倍。TENCOR P 15还拥有先进的反向散射电子成像模型,大大提高了所有缺陷测量的精度。TENCOR P 15的自动缺陷分级资产根据严重程度将检测到的所有缺陷分为低、中、高和临界四个级别。这允许自动触发用户预定义的操作,例如警告、停止或继续检查或高级计量功能。P-15标准配备了一套综合软件,用于全面晶圆测试和计量。可以分析各种不同的测量,包括晶圆厚度、结构深度和裂纹深度,以及轮廓确定、层压参数和复杂的图样分析。总之,TENCOR P-15晶片测试和计量模型是一个强大的工具,可以用来高效、准确地测试和测量半导体晶片的特性和性能。KLA P15通过其先进的成像技术、内置的计量设备和全面的软件,能够以无与伦比的精度提供可靠的结果。
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