二手 KLA / TENCOR P15 #9254109 待售

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KLA / TENCOR P15
已售出
ID: 9254109
晶圆大小: 8"
Long scan profiler, 8" Upgraded from P11 Computer controlled Automatic measurement capability Measurement of vertical features: 100 Å (0.4 min) to ~300 µm (11 mils) With vertical resolution: 0.5, 2 / 10 Å Includes: Semiconductor wafers Thin film heads Precision machined and polished surfaces Ceramics for microelectronics Glass for flat panel displays Optical surfaces.
KLA/TENCOR P15是半导体制造商市场领先的晶圆测试和计量设备。它适用于广泛的应用,允许从最先进的节点到200 mm晶圆,对具有特征大小的样品进行自动化和高精度的测量。KLA P-15提供各种性能功能,以最大限度地提高吞吐量和准确性。该系统提供世界级的精度,2D覆盖精度高达+/-2.5nm, 1D CD均匀性高达+/-1.5nm。该单元的检测能力还包括用于缺陷检测的高级算法,具有一流的数据吞吐量。TENCOR P 15集成了光学和声学传感器,可提供高速测量并提供最高精度,使用户能够进行多次测量并以极高的精度分析数据。此外,该机器还集成了强大的数据处理和报告功能,并提供了在最苛刻的制造环境中部署的灵活性。P15还可以测量范围广泛的晶圆参数和表面特性。这些包括粒子间隙测量、平坦度测量、应力测量、线宽测量、穿刺尺寸测量等等。此外,它还能够执行深入的尺寸分析,从而可以更快地解决问题,减少停机时间。此外,该工具用途广泛,可以完全适应每个客户的独特需求。资产灵活的设计允许快速转换和轻松配置,从而允许最大生产周期时间和最小化运行时间。KLA还为TENCOR P-15提供技术支持,确保客户能够获得专家的技术咨询、故障排除和定期维护。总之,P 15是一种创新的晶片测试和计量模型,在测量最复杂晶片特性时提供了最高的精度和最佳的吞吐量。凭借强大的设计和先进的功能,KLA/TENCOR P-15为当今半导体制造商的需求提供了出色的解决方桉。
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