二手 KLA / TENCOR P2 #9047328 待售

KLA/TENCOR P2是一种用于半导体工业的高精度晶圆测试和计量设备。它设计用于测量半导体晶片的各种电气、结构和光学参数。该系统由几个模块组成，构成半导体测试和测量的完整解决方桉。该单元的核心是图样晶圆传感器（PWS）模块，用于测量晶圆的精确物理和电气特性。模块由一个高分辨率摄像头组成，该摄像头用于对晶片表面成像并测量物理参数，如模具尺寸、划痕和表面缺陷。PWS还包括测量晶圆电气参数的多个探针和电子设备，如电流、电压、电阻和电容。KLA P-2机器还包括临界尺寸小场光谱（CDSF）模块，用于精确测量晶圆表面的物理特征。CDSF模块使用激光干涉仪高精度扫描晶圆表面，捕获晶圆的原子级图像。该模块能够测量尺寸低于10纳米的特征，提供比传统光学显微镜系统更高的精度。另外,TENCOR P2工具包括光学表征模块（OCM）.OCM模块用于晶圆表面的光学成像，允许对晶圆进行微观水平的研究。模块使用基于白光干涉测量的相机，能够以非常高的精度捕捉晶圆的详细表面图像。P2资产还包括用于数据获取、分析和结果报告的软件。该软件用于控制和配置模型的不同模块，并确保测量在给定参数内准确。软件还提供数据的实时可视化，允许用户识别晶圆配置文件中的模式和缺陷。总体而言，TENCOR P-2晶片测试和计量设备为半导体晶片的测试和测量提供了全面的解决方桉。从物理参数测量到电气和光学表征，系统为用户提供详细准确的结果。此外,随附的软件使设备易于使用,并允许对结果进行详细分析。