二手 KLA / TENCOR 5107 #154364 待售

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ID: 154364
CD Overlay System.
KLA/TENCOR 5107晶圆测试计量设备是半导体制造业检验计量的完整解决方桉。该系统经过优化,为半导体生产线提供快速、准确、可靠的晶圆测试和计量。KLA 5107提供了广泛的功能和功能,例如自动晶片测试、现场检查、prober性能测试和配置文件扫描。它还具有易于使用的界面,可实现快速、准确的数据读取和分析。对于自动晶圆测试,TENCOR 5107具有广泛的模块阵列,可测量多种指标,包括光学、电气和物理属性。该单元被封装在减振外壳中,可提供最大吞吐量和数据精度。对于现场检查,5107提供了多种自动化功能。它可以实时检测晶片表面的各种颗粒污染和其他特征,从而能够快速准确地采取纠正措施。此外,该机器还可以检测晶片的电气和物理特性之间的差异,从而改善产量和缺陷管理。KLA/TENCOR 5107的其他特性包括prober性能测试和轮廓扫描。Prober性能测试允许评估性能参数,如阵列放置精度、迭加精度、分辨率、延迟、胶水卫生和泄漏率。轮廓扫描是一种自动读取晶圆地形并生成二维或三维地图的过程。通过提供晶圆表面的详细地图,这一过程有助于确保沉积或去除过程的均匀性。KLA 5107为半导体制造带来可靠、准确、经济高效的晶圆测试和计量。利用其自动化晶片测试、现场检查、prober性能测试和轮廓扫描功能,此工具可以节省时间、提高产量并降低生产成本。
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