二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9185507 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于晶圆的精确检查和无损评估。该系统用于测量和监测半导体工业中晶片的关键表面特征。KLA 6200 Surfscan是一个最先进的单元,由一组复杂的硬件和软件组件组成,可快速分析晶圆表面。该机集成了强大的光学放大工具、3轴粗手动移动控制以及在单个晶圆上测量多个位点的能力。这使用户能够识别亚微观缺陷,并测量阵列化和非图桉化设备的关键尺寸。要支持TENCOR 6200 Surfscan,可以使用专门的软件包。此软件能够自动识别和测量步高、侧壁角度和螺距测量等特征。它还支持报告（包括缺陷捕获和纠错）,以及用于改进流程控制的自动统计信息。资产的硬件同样复杂。该模型包括一个包含用于控制机器定位的安全马达和运动控制器的组件，以及光学显微镜、光源、图像分析视频模块和可拆卸键盘。光学显微镜提供了高分辨率的成像和广阔的视野，使设备能够检测到非常小的缺陷并进行精确的测量。PROMETRIX 6200 Surfscan是自动检查和计量的宝贵工具。它允许用户精确测量表面特征，快速、高精度地进行无损晶片测试。6200 Surfscan具有直观的软件、通用的硬件和强大的光学功能,是希望改进工艺控制和产量的半导体制造商的理想选择。