二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9199098 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款高精度晶圆测试和计量设备。它旨在应对大规模晶圆加工技术的发展挑战，并提供关键器件特性的可靠测量。在KLA 6200 Surfscan问世之前，需要大量的人力和时间来检查每个单独的晶片，找出缺陷，了解其根源。TENCOR 6200 Surfscan允许对晶片进行可靠的表征和测试,使制造商能够更好地了解其产品的性能,轻松识别有缺陷的晶片和设备,并改进其工艺控制。该系统在各种材料和晶圆平坦度或非平面度应用中提供快速、准确和可重复的测量。这种速度和准确性有助于制造商将评估其工艺参数的周转时间降至最低。此外,6200 Surfscan使用先进的光学成像和晶圆跟踪系统来实现高度精确的测量,并以更高的完整性提供数据。该单元还为操作员提供了自动化的例程，如粒子计数、数据捕获、计量和其他测量，这些例程可用于识别晶圆结构、器件的电性能或晶圆表面上的污染物的潜在问题。它还包括先进的缺陷检测功能，如Darkfield Mode，以查找晶圆表面的外来粒子。该机器还提供了无与伦比的表面地形分析功能,使用诸如线扫描、FFT、3D轮廓以及Z和X、Y轴模式的振幅等参数。此外,PROMETRIX 6200 Surfscan还为非平面（3-D）地形和纹理测量提供了高灵敏度。这可以使用先进的算法来检测微观上的细微差异。该工具还能够快速扫描各种材料，从笨重的标本到epi基质。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan通过提供全面、快速和可重复的方式来测量、表征和分类晶片,从而彻底改变晶片测试和计量学。凭借其先进的特性和能力，它正在帮助晶片加工行业改进过程控制，变得更加高效和经济高效。