二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9224678 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,旨在确保半导体器件的精确测量和测试。它允许用户快速准确地识别和分析半导体晶圆表面的缺陷。它是一种高度自动化、现场和生产验证的用于测量晶圆和设备拓扑的解决方桉,用于从测量金属、多晶硅和扩散层到表征缺陷和模式计量的广泛应用。KLA 6200 Surfscan基于可扩展的体系结构构建,可满足批量生产和高级计量应用（如LED芯片测量）的需求。它坚固可靠,可承受严酷的生产环境。它具有自动化的定向算法模式合成（DAPS）功能,允许用户快速创建模式以测试运动和移动性、非线性、非均匀性和波浪性。该特征还允许根据需要创建新模式。该系统配备了功能齐全的晶圆边缘检测器，可精确测量晶圆边缘，并检测光掩模缺陷和污染。它还包括一个先进的透镜模块，可以让用户一次扫描多达10mm的晶圆，以及范围广泛的软件工具，用于晶圆厚度监测、粒度测量、晶圆曲率和平坦度测量、全局均匀度测量、低百分比缺陷测量和迭加分析。TENCOR 6200 Surfscan采用复杂的算法和易于使用的图形用户界面设计，便于操作和解读数据。它包括用于快速数据分析和报告的自动化配方,包括缺陷计数、缺陷检查、颜色映射、电子束检查和自动图像分析。软件由全面的培训材料进行备份,使用户可以快速适应设备并快速启动和运行。6200 Surfscan符合最高标准,确保所有用户的质量和可靠性。它还通过了符合行业安全和环境标准的认证，使其成为各种生产环境的理想机器。它结合了自动化的特性和复杂的软件，使得它成为精确晶圆缺陷分析和计量在苛刻的生产环境中的绝佳选择。