二手 KLA / TENCOR FT-600 #178694 待售

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ID: 178694
优质的: 1991
Film Thickness Measurement System Power: 115 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts Microscope includes five reflected-light Olympus objectives: - MS Plan 2.5X/0.07, 5X/0.13, 10X/0.30 and 20X/0.46 - ULWD MS Plan 50X/0.55 Includes cassette-to-cassette (C2C) wafer handler with 200mm-wafer trays, PC controller 1991 vintage.
KLA/TENCOR FT-600是一种先进的晶圆测试和计量设备,设计用于在制造过程中检查半导体晶圆。该系统在一个平台中结合了高速测量、先进的缺陷管理和稳健的过程控制,使单模和晶圆级缺陷的检测成为可能。KLA FT-600提供一系列测量,如无损光学计量、电气参数测试和视觉成像。该单元还提供各种模具级和晶片级测量,包括一纳米或更高的非接触式地形测量精度、基于特征大小算法的测量能力以及最多八层的详细3D成像。使用这台先进的机器,用户可以快速准确地测量厚度、轮廓、均匀性、步高、螺距和边界形状等参数。该工具具有用户友好的界面,使操作员能够快速了解资产并优化其工作流程。TENCOR FT-600还提供高级缺陷管理功能,如每晶圆多达100个活动缺陷、操作员通知、小于1微米的位置精度以及集成激光标记控制。FT-600还提供了可靠的过程控制和可追踪性,并在每个晶片上实时显示过程监控和反馈数据。KLA/TENCOR FT-600提供多种功能,例如可配置的自动化编程语言、用于快速测试和验证的高级交换机矩阵以及存储的数据库,供将来参考。此外,该模型还配备了四个离散模具每个晶片检查,允许用户确认整个晶片的模具特性与单个探头。KLA FT-600还提供对环绕环境的全面控制,允许精确的过程控制和处理高度敏感的晶片。TENCOR FT-600设备是一种先进、高度精确和高效的晶圆测试和计量系统,用于半导体加工的精确表征和监测。此单元提供多种功能,例如无损光学计量、电气参数测试、视觉成像、缺陷管理和过程控制。凭借其强大的功能,用户可以快速准确地检查晶片并优化其工艺流程。
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