二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #148862 待售
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ID: 148862
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Long scan profiler, 8"
Micro head with L type stylus
Measurement range: 100 ~ 0.3mm Height
Scan length: 210 mm
Scan speed: 1µm ~ 25 mm/sec
Stylus force: 1 ~100mg
Motorized X-Y stage (Max sample size: 254x254mm)
486DX PC
Monitor: LCD Color
Windows 3.1
Option: Precision locator, Wafer handler
Anti-vibration table
Utility: Vacuum
Power: 110V, 50Hz, 4A
2000 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H是一种晶圆测试和计量设备，能够对晶圆进行高精度的测量和分析。该系统利用光学散射法和干涉测量技术对晶片进行深入分析。KLA P-20H是为流程开发、流程控制和故障排除而设计的最先进的计量独立单元。它由多轴级、光学截面、控制器模块和基于PC的机器控制器组成。多轴级可确保样品的x-y-z定位,并能够在各个方向进行高度精确的电机运动。光学工具收集散射自晶片表面的光，用于测量其光学参数包括消光、反射率和散射散度。TENCOR P20H还有一个控制器模块，可以执行各种计量任务，例如测量整个晶圆，测量晶圆上的单个点，以及测量表面轮廓。此外,资产还具有内置故障定位功能,可帮助确定流程开发和故障排除过程问题的根本原因。就精度而言,PROMETRIX P20H的光学参数分辨率高达0.1nm。它在4nect晶圆测量中具有0.3nm的精度，适用于表面体积分析。计量软件提供准确、可重复的测量结果,并提供快速、可靠的软件定制。总体而言,P20H是一种先进的解决方桉,可提供精确可靠的晶圆测量。它提供了高精度和可重复性,使用户能够做出明智的决策,以优化其流程条件。因此，PROMETRIX P-20H是半导体制造工艺的理想模型。
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