二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9086426 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供可靠和准确的测量。它具有双光束光学系统和一整套计量工具，以确保晶圆设备符合要求的性能标准。双光束光学单元具有一个具有大数值孔径（NA）的物镜，能够测量高分辨率的小特征。该机利用二维扫描与多个样本同时进行，实现了自动批处理的兼容性和提高精度。此外,该工具能够检测不同基板层上的缺陷,包括背面区域的缺陷,从而在工艺改进过程中提供更快的反馈。资产包括先进的SPONTANE扩展软件,该软件可连续监控迭加、聚焦、CD（临界维度）和其他计量参数,确保快速的过程反馈,同时保持准确性和精确度。它还包括功能强大的缺陷审查软件,为缺陷审查、分析和修复提供灵活的环境。它包括自动缺陷检测功能,使模型能够快速识别缺陷并根据缺陷类型对其进行分类。KLA RS35设备能够容纳各种工具,包括电动装载机/卸载机,可实现自动化设备处理和最大吞吐量。它支持一系列晶圆尺寸和类型，从3"到8"以及几种材料，包括硅、电介质、金属和沉积膜。它还配备了先进的环境控制能力，使用户能够保持稳定一致的计量环境，以确保准确性和可重复性。TENCOR RS 35系统为产量分析和工艺改进提供了快速、准确、可靠的计量和缺陷评审结果。它能够提供高分辨率CD和迭加测量以及广泛的缺陷审查引擎,以便在过程实施过程中实现整个过程的稳定性。先进的计量环境确保晶圆设备在规范范围内,缺陷审查单元能够快速反馈过程改进。该机器旨在通过确保准确性和可重复性最大限度地提高生产率。