二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #195934 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是一种晶圆测试和计量设备，用于分析和测量半导体晶圆。它旨在检查和检查半导体级别的特征,如颠簸、线条、非均匀性和特征大小。该系统以先进的光学技术为基础，能够快速、精确地检测晶圆上的各种尺寸和缺陷。KLA RS-55TC可以连接到自动晶片处理单元（AWHS）,用于检查和测量晶片表面和特征。该机配备了Auto-Focus Tilt相机和Dual Telecentric镜头。自动对焦倾斜相机允许工具捕获样品的高分辨率图像。双镜头具有可调的景深，可以捕捉不同焦平面的图像。TENCOR RS55/TC能够获得晶圆的3D数据和表面拓扑测量。它可以测量凸起高度、大小和形状,以及线宽、间距和CD（临界维度）值。资产还可以检测线宽和间距的变化，以及分析特征的均匀性。利用各种分析技术测量晶片上的特征，包括SEM（扫描电子显微镜）、光学显微镜、SEM-AFM（扫描电子显微镜-原子力显微镜）、白光干涉测量。该模型利用这些技术（包括高级算法）的组合来检测晶圆表面的缺陷和变化。TENCOR RS-55TC具有测量各类材料的能力，如硅、铜、铝、金和其他类型的金属。该设备还可以分析有机材料，使其适合广泛的应用。该系统提供高吞吐量和快速的检测速度。它还配备了易于使用的接口，使数据采集和报告生成变得简单快捷。综上所述，TENCOR RS-55/TC是一个前沿晶片测试和计量装置，设计用于检查和测量半导体晶片。该机利用先进的光学技术，利用量身定制的分析技术检测缺陷和变化。KLA RS-55/TC具有强大的功能、快速的吞吐量和易于使用的界面,是检查和测量晶圆表面的理想选择。