二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #46197 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是专门为半导体和光电工业设计的晶圆测试和计量设备。这种先进的设备用于生产和开发应用，包括芯片测试、封装、过程监控和质量控制。KLA RS-55TC系统的软件能够控制生产过程参数，包括位置、焦点、扫描模式和照明。TENCOR RS55/TC配备1至2英寸晶圆扫描级、封盖模块、晶圆扫描站和集成相机技术。这一先进的测试单元具有测量4D（尺寸、模具尺寸、厚度）、2D （X/Y）、像素阵列分析和临界尺寸分析的能力,具有卓越的准确性和可重复性。此外,这台机器还配备了获得专利的高分辨率数字成像工具,该工具将高达0.1µm的平面内分辨率与高达5µm的测距精度相结合,可进行极其精确的测量。TENCOR RS-55/TC还配备了先进的自动化资产。自动晶片碎片功能允许自动晶片分割,并且可以准确识别和区分性能与不良模具。该模型能够分析形状和颜色等光学特性、沟槽形状等金属几何特征、临界尺寸分析以及测量图像对比度和焦点。最后,RS-55TC还具有直观的用户界面。此用户界面使操作员可以轻松访问重要的设备功能,并允许轻松调整配置选项。该系统开放的体系结构使其与其他制造自动化软件兼容，使其具有很大的灵活性。总体而言,PROMETRIX RS55/TC是一个用途广泛且精确的晶圆测试和计量单元。它具有测量4D、2D、像素阵列分析和临界尺寸分析的能力，具有极高的精度和重复性。此外,自动化机器和直观的用户界面提高了此设备的灵活性,使其非常适合半导体和光电行业的广泛应用。