二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9275709 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一种晶圆测试和计量设备，提供了一套综合的工具，用于测量平均和局部厚度、表面地形、表面粗糙度、缺陷密度等参数。KLA RS 55 TCA专为精确和可重复性而设计,可提供卓越的性能而不会影响精度。TENCOR RS-55/TCA使用复杂的光学计量技术组合来测量晶圆表面。这些技术包括散射测量、椭圆偏振、光致发光、偏振和二次电子显微镜。该系统还利用先进的运动控制系统和专有算法在最小的时间内精确地提供最高精度的结果。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55 TCA应用软件提供了一套全面的分析工具,旨在自动检测晶圆表面的缺陷。这些工具用于检测和表征过程变化所造成的微妙影响，以及对缺陷进行分类，以确定可能出现麻烦的元素和浓度。该单元还提供了详细的模模报告，使用户能够快速隔离错误并减少浪费。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCA中使用的先进运动控制机是为晶圆扫描的准确性和可重复性而设计的。此工具允许以高达150 mm/s的速度对晶片进行亚微米扫描。软件提供检测和测量可能影响设备晶片质量和性能的缺陷的能力，以及轻松检测过程条件变化的能力。KLA RS-55TCA是为满足要求最苛刻的晶圆表面计量要求而设计的，并且针对健壮、可靠和可重复的晶圆测试进行了优化。它在测量厚度、表面地形和表面粗糙度方面提供了无与伦比的精度。资产还可以检测到各种各样的晶圆缺陷，并能够实现自动化的后期处理，以保证分析的准确性和精确度。此外,该模型能够测量每个晶片多达三万个晶片,并且可以扫描每小时多达25个晶片,从而确保快速周转时间和提高生产率。RS-55 TCA是半导体质量控制和晶圆工艺优化的理想解决方桉。