二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #156087 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是先进的晶圆测试和计量设备,用于高级过程控制和故障分析。该系统对晶片的状态和性能提供了无与伦比的洞察力，其先进的功能在过程控制和质量保证方面提供了显着的优势。KLA RS75单元基于符合人体工程学的龙门设计,可实现高度精确和可重复的测量,并具有广泛的晶圆直径和厚度选项。该机器的先进晶片处理能力提供了精确、可重复的对准多个传感器，包括激光扫描仪和其他能够实时测量表面和地下特性的传感器。它具有高速扫描/测量模式,具有可调视场,可提供广泛的缺陷相关信息。TENCOR RS 75还具有一系列计量功能,包括临界尺寸测量、表面扫描和缺陷审查。其专有的缺陷检测算法提供了无与伦比的缺陷解决和分析。RS75工具配备了一套功能,可提供最大的灵活性和对过程参数的控制。它具有多个I/O通道,以及一系列高级自动化功能,包括自动流程设置、数据存储和分析、可调扫描参数、数据绘图和统计分析。PROMETRIX RS-75资产还提供了广泛的缺陷分类选项,从基本的拒绝/接受决策到更复杂的分类器,如缺陷测量类别和故障树分析。它还包括一个强大的模式识别引擎，允许以最高分辨率对晶片进行高级检查和故障分析。总体而言,PROMETRIX RS 75晶圆测试和计量模型提供了对晶圆条件和性能的无与伦比的洞察。其先进的自动化能力和缺陷检测算法使其成为过程控制和质量保证的理想选择,而其广泛的缺陷分类选项提供了无与伦比的灵活性和控制。KLA RS-75设备是用于要求最苛刻的过程控制和故障分析应用的最先进的工具。