二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #197154 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
已售出
ID: 197154
Resistivity measurement system Table-top unit.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在支持半导体行业的最新工艺控制和质量保证/控制需求。KLA RS75提供了一系列亚微米临界尺寸的精度和精确度,是高级过程控制和临界尺寸计量的理想解决方桉。该系统配备了集成的计量、测试、过程控制和故障诊断功能,可在不影响总吞吐量的情况下实现质量保证/控制。其先进的光学器件能够单独或在批量模式下对关键特征进行亚微米测量,这意味着该器件可以在完全信任的质量保证或过程控制下使用。该单元结合了图像处理和模式识别,对晶圆级图像进行自动测量,这些图像与所有生产设备的数据集成在一起。TENCOR RS 75包括几个组件,包括一个自动晶片装载机以最大程度地减少人工,以及一个晶片映射模块,以便能够详细查询该批次中任何晶片的测试结果。机器的精确度使结果能够在不同品牌的晶片上保持一致,而灵活的界面使其能够轻松配置用于各种生产过程。它的工具控制台有助于数据收集和分析过程控制和故障诊断。它还具有测量小特征的能力,包括单线边缘粗糙度和最先进的晶片上的接触孔/间距。PROMETRIX RS-75还配备了自动对齐功能,可实现最高的准确性和可重复性。这对于需要多种测量和过程的复杂应用程序至关重要。该资产还配备了高分辨率彩色相机,能够提供晶圆的彩色图像。该模型有助于快速可靠的样品准备工作,无需人工干预,从而能够保持样品质量和安全性。它还具有广泛的吞吐量和自动执行多个过程的能力,并提高了吞吐量。综上所述,RS-75是一种极其先进的晶圆测试和计量设备,满足最苛刻的性能和过程控制要求。TENCOR的精确度和精确度,加上其灵活的界面和高分辨率的成像,使RS-75成为半导体工业的理想系统。
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