二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9171321 待售

ID: 9171321
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050晶圆测试和计量设备是为先进的半导体晶圆和IC检测而设计的。KLA UV 1050是一种综合工具,能够监测和测量用于制造半导体的各类晶体管、硅等材料的性能。该系统建立在一个铰接臂上,该臂配有一系列特殊组件,包括一个带有自适应光学元件的激光单元、一个全反射荧光探测器、一个半导体探头、一个X射线成像机和一个光电倍增器。TENCOR UV-1050的激光工具采用二极管泵浦固态激光器,即使在恶劣的环境条件下也能提供可靠无故障的性能。该激光器配有自适应光学设备,用于精确测量关键的IC参数。使用这种激光器,PROMETRIX UV-1050可以执行高分辨率测量,如薄膜厚度、轮廓深度、临界尺寸(CD)和光电器件特性。UV 1050的全反射荧光检测器允许对固态样品中的元素进行快速灵敏的识别。这在半导体点分析仪或检测小至单个原子的污染时特别有用。探测器还配备了光谱分析仪,以快速确定污染程度。PROMETRIX UV 1050的半导体探头设计用于精确测量导电材料和非导电材料。该探头采用静电力和电容测量相结合的方式检测电荷和泄漏电流问题。KLA UV-1050的X射线成像模型用于晶圆成像和缺陷检测。该设备配备了X射线探测器和准直仪,使其能够获取高分辨率图像。KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050的光电倍增器在光谱的紫外线/可见区域提供精确和可靠的测量。这种光电倍增器与光谱分析仪配合工作,以高灵敏度检测紫外线、可见和红外灯泡。TENCOR UV 1050还具有可编程自动化功能,可用于高效的晶圆处理和数据分析。总体而言,UV-1050晶圆测试和计量系统是先进的半导体IC和晶圆检测和表征的绝佳解决方桉。该单元提供了X射线成像、元件检测、电荷测量、泄漏电流检测、光谱分析等一整套测量功能。所有这些特性使KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050能够测量和监控用于制造半导体的各种类型的晶体管、硅和其他材料的性能。KLA UV 1050通过其自动晶圆处理和数据分析,确保了准确可靠的结果和最短的停机时间。
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