二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1280SE #195817 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1280SE
已售出
ID: 195817
Wafer inspection system, 8" Built-in SMIF Software version 2.50.19 2001 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1280SE是一种先进的晶圆测试和计量设备,专为复合半导体基板上的高通量应用而设计。该系统配备了最先进的紫外线光源,能够进行无损在线计量和分析。KLA UV-1280SE具有很高的精度和精确度,是用最短的时间和精力测量基板电性能的理想工具。该装置配有两个光束系统,即紫外线和可见范围,可用于测量半导体基板的许多特性,包括:光吸收、电阻、电阻率、掺杂密度、薄膜厚度和表面粗糙度。该仪器包括一台先进的光学机器,能够精确成像和定位具有亚微米精度的光束。这两个波束系统能够进行精确的波长选择,并为快速和准确的测量选择旋转和倾斜级配置。TENCOR UV 1280 SE还配备了一个自动化的数据收集和报告工具,可方便使用和准确复制数据。这种先进的资产允许同时收集三个独立的数据层和一次采集。这大大减少了从基板获取数据所需的时间,从而提高了吞吐量。该软件包括高级数据处理功能,可确保在测量多个基板时进行准确的数据比较。综合度量算法进一步允许研究基板之间的相关性。UV-1280SE的灵活性使配置能够适应广泛的应用程序。该模型包括一个自动晶片装卸设备,消除手动装填,允许无人值守操作。这样可以减少操作员疲劳,并通过最小操作员输入确保一致的结果。UV 1280 SE是一个可靠可靠的晶圆测试和计量系统,能够为复合半导体基板提供准确、高通量的结果。结合高分辨率成像、快速采集时间和无损检测,PROMETRIX UV-1280SE是研究半导体基板的理想仪器。
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