二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1280SE #9013077 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1280SE是最先进的晶圆测试和计量设备，可用于半导体和光学行业。KLA UV-1280SE专为广泛的应用而设计，如介电和地形检查、电气计量、光学检查、正光刻和薄膜测量。TENCOR UV 1280 SE具有场增强光学平台，允许精确测量多种材料，无论反射率或偏振。PROMETRIX UV 1280 SE能够收集高分辨率的3D计量数据以及同时的视场成像。它使用高能聚焦光束、浮动物镜级和两条可变延迟线放置和曝光样品进行检查。这样可以精确检查和检测样品晶片上的各种特征，对表面结构的损害最小。该系统还具有一系列不同的成像能力，如暗场成像、微图案、多图样和光学比较器。所有这些成像模式都可以结合使用，以多尺度精确调查样品的结构。KLA UV 1280 SE的成像能力与高级软件相结合，该软件旨在快速识别和测量感兴趣的特征。KLA UV 1280SE还采用专门的非接触式仪器来测量薄膜厚度。它配备了基于单色仪的光谱仪和用于精确和受控厚度测量的多波长激光器。该单元配备了广泛的入射角，可以用来测量样品晶片上每一层的厚度。该仪器可借助光敏成像测量私人缝隙和六角形结构。总体而言,PROMETRIX UV 1280SE是一台一站式机器,可精确、快速地进行各种晶圆测试。其先进的成像能力允许对纳米级特征进行精确的3D测量，而其可变角度仪器则非常适合测量薄膜厚度。此外,其强大的软件功能允许对目标位置进行高效和自动的测量,使其成为半导体和光学行业的宝贵工具。