二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9012564 待售

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KLA / TENCOR SP1-DLS
已售出
製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1-DLS
ID: 9012564
Particle measurement.
KLA/TENCOR SP1-DLS是一种综合性设备,旨在提供最精确、分辨率最高的掩模和晶圆检测。它采用专有技术在单个平台中提供缺陷检查,并提供同类产品中的最佳性能。该系统结合了SAQS(Sub-pixel Accurate Quantum Sensing)和先进的成像光学器件,以确保晶圆和掩模表面缺陷的检测和分析具有无与伦比的准确性。该单元利用空间调制照明、并行成像处理和专有算法来查明晶圆上尺寸小于10纳米的缺陷。然后,KLA SP1 DLS可以精确定位分辨率优于1 nm的缺陷,从而允许对整个晶片进行全面检查,以找出传统检查方法难以检测到的缺陷。该机器还能够在不同站点之间快速共享晶圆/掩码图像,从而可以轻松诊断问题并实现更快的修复。该工具还使用户能够创建一个包含发现的所有缺陷的自动化数据库,以便将缺陷数据有效地呈现给晶圆厂。资产还包括检查和分析软件,允许快速分析单一平台内的所有缺陷。该软件允许用户自动化检查过程,分析缺陷特征,并就进一步行动做出决策。TENCOR SP 1-DLS除了检查模型的尖锐细节外,还具有提供无损检查的能力,允许用户进行重复晶片和掩模检查,不会对晶片或掩模表面造成任何损坏。最后,SP 1-DLS还设计为与其他KLA系统集成,以实现无缝检查和维修体验。
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