二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9256586 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一款创新的掩模和晶圆检测设备，旨在为半导体行业带来更好的分辨率、更高的吞吐量以及卓越的缺陷检测和分析。新系统通过提供更快的上市时间和促进更高效的运营,帮助客户保持竞争力。KLA SP1 DLS是一种双面晶片和掩模检查工具。它具有一流的5倍分辨率成像、高速吞吐量和专有的基于区域的分析技术。该设备使客户能够在亮场和暗场成像模式下以4 nm分辨率快速准确地检测设备或掩码级别上的缺陷。TENCOR SP 1-DLS包含两个主要要素：多头光学机器及其专有的实时迭代回顾（RITR）算法。光学工具由13个独立移动的探测器头组成，具有独特的光学和传感器设计，以便在尽可能短的时间内获得最准确的数据。它还包括光学元件和视野广阔的高分辨率相机，用于检测非常小的缺陷。同时，RITR算法为客户提供了革命性的精度和吞吐量水平。该算法将缺陷检测、分类和分析集成到一个同时进行的双向过程中，帮助客户发现甚至最难发现的缺陷。此外,SP1 DLS是唯一具有高级缺陷审阅迭代（DRI）的双面资产,这是一项将缺陷审阅提升到下一级的新技术。DRI允许用户对同一样本快速应用多组参数，从而更容易诊断和纠正在一小部分时间内发现的任何缺陷。此模型还包括图像增强和数据挖掘功能,使客户能够深入了解其设计的整体结构完整性。总体而言，TENCOR SP 1 DLS是一款功能强大、可靠的掩模和晶圆检测设备，可帮助客户节省时间和金钱，保持竞争力，享受卓越的缺陷检测和分析。它提供了高质量的成像和高速吞吐量,从而加快了上市速度,其先进技术确保了结果的准确性和可靠性。