二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9250876 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一种提供自动缺陷检测的掩模和晶圆检测设备。该系统由包括带电耦合器件（CCD）图像检测器、从晶圆或掩码获取高分辨率图像和衍射数据的光头组成。然后使用专门的图像分析软件对获取的数据进行分析，使工程师能够检查晶片是否存在可能的缺陷。KLA SP1T-BI单元为操作员提供了易于使用的用户界面，使其导航和操作变得简单。机器可以编程为检查单个模具、多个模具或整个晶片。它具有强大的CCD探测器,可用于高分辨率成像,以及一系列照明选项,如暗场、亮场、轮廓照明、偏振器和滤光片。这些特征能够分析从纳米尺度到宏观尺度的特征。TENCOR SP1 TBI在进行检查时考虑所有取样要素。自动缺陷检测软件确定潜在缺陷是随机粒子还是特定的、过程生成的特征,如丘陵或via。可将样本存档以供将来参考或进一步详细分析。KLA/TENCOR SP1 TBI还有一个可选的集成光学轮廓仪，进一步增强了它的能力。Profilometer允许在分析缺陷时进行高级地形和形状测量，从而实现更好的缺陷分类。用于TENCOR SP 1 TBI的集成软件除了提供分层缺陷分类之外,还提供了广泛的设置和报告功能。这些功能减少了检查和表征缺陷所需的时间。此外，各种内置的报告模板可以快速、方便地报告检查结果。KLA SP1 TBI还提供了一套高级工具，如CameraLink和以太网通信，以及大量交互式工具。这进一步减少了检查和鉴定缺陷所需的时间。综上所述，KLA/TENCOR SP 1-TBI是一种可靠、高效的掩模和晶圆检测工具。该资产为用户提供了一套强大的功能,可实现高分辨率成像和自动检测缺陷。其集成的剖面仪进一步增强了能力，先进的地形和形状测量提供了更好的缺陷分类。用户友好的用户界面和广泛的报告功能使SP1T-BI成为高精度掩模和晶圆检查及特征的绝佳选择。