二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9225845 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B是专门为半导体制造设计的晶圆测试和计量设备。该系统提供了一整套计量和检验工具,可应对下一代计量难题,同时提供高吞吐量和低开销。该装置具有令人印象深刻的套件，包括SEMI标准测量、覆盖、CD-SEM、晶圆缺陷和低压无损测试。KLA OPTIPROBE 2600B配有一个5轴电动级进行检查、伺服控制栅格以及最多三个电动显微镜进行在线和离线处理。该机采用模块化结构设计，在200 mm和300 mm基板上可容纳10 µm分辨率，扫描面积900 mm x 1200 mm。该工具使用获得专利的2D和3D图像算法,对线宽和间距、边缘位置、迭加问题、地形、波形和轮廓进行精确的测量和分析。它还为清洁和非清洁晶片提供来自功能强大的缺陷检测工具的数据。专有ODCX-3D专利的过程感知和设备感知缺陷检查软件定位嵌入式缺陷和外围缺陷,并提供快速分析和报告。此外，获得专利的TENCOR OPTIBE 2600B利用PRT模式识别技术识别和报告过程敏感缺陷。Insight完整的晶圆测试和计量软件平台提供了一整套对过程敏感和DFM敏感的应用程序,用于检查所有主要制造和包装缺陷。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 2600B设计用于快速和高精度的测量。利用先进的图像处理技术，以亚纳米精度解码边缘位置和迭加问题。此外,它还能够自动对时间密集的任务和复杂的作业进行例行测试,并将数据自动传输到软件系统以进行进一步分析。OPTIPROBE资产提供了三大高级功能，如集成过程控制站、增强Web服务和离线操作模式。它还通过安全的Web服务提供远程访问和安全控制。该模型完全适合当今先进的工艺和制造要求。