二手 MITUTOYO SV-C500 #162851 待售

MITUTOYO SV-C500晶片测试和计量设备是一个综合性平台,旨在实现对复杂设备的关键尺寸和均匀性的粒度控制。该平台为成功生产先进技术节点（如3D-NAND、DRAM和FINFET）提供关键参数的过程中优化。该系统具有多种特性，能够实现高吞吐量和灵活的过程控制，以满足现代设备生产的需求。SV-C500利用高速线性驱动级和高性能5轴晶圆级。这种先进的机构允许精确控制晶圆运动，X/Y方向的精确度为4.5 µm，Z方向的精确度为4.4 µm。开放式平台设备还实现了优化的工作流程,允许在同一单元内同时采用多种监控和测量方法。这包括过程调整、计量、分析操作和质量控制。MITUTOYO SV-C500除了其先进的处理机制外，还配备了各种强大的计量工具。这些工具利用机器的空气轴承组件来测量先进半导体器件的静态和动态参数。该工具提供各种自动和手动探针,包括扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）功能。这些工具提供高分辨率成像和测量,SEM的分辨率高达0.5nm, AFM的分辨率高达1nm。SV-C500还能够进行各种其他测量和分析。其算法能够进行图像识别、芯片尺寸分析和3D测量。该资产庞大的测量技术库还包括椭圆偏振和光致发光等几种无损技术，以提供高精度分析。总体而言，MITUTOYO SV-C500晶圆测试和计量模型是一种功能强大且用途广泛的先进半导体制造解决方桉。它的一套全面的功能和工具允许对复杂设备的关键尺寸和均匀性参数进行全面的监测和测量。该设备具有高速直线传动级、空气轴承组装和各种计量工具,可提供高精度的结果,这对于成功生产现代技术节点至关重要。