二手 RUDOLPH WS 3840 #9407611 待售

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ID: 9407611
Wafer scanner system.
RUDOLPH WS 3840是一种晶圆测试和计量设备,设计用于晶圆和元件的精确评估和鉴定。它具有可靠和通用的红外成像系统,能够测量和分析晶片和元件的尺寸、形状和表面特性,精度高达10纳米。该单元可以以最高的精度和可靠性测量中尺度、纳米尺度和特征关键区域中的关键尺寸。它配备了集成成像机,可实时可视化晶圆或组件的表面地形,分辨率高达0.5 µm。此外还有一个精密机动化的X-Y-Z级和可编程扫描模式,使工具能够进行快速、准确和可靠的测量。RUDOLPH WS3840能够测量不同的参数,如物理和几何特征(宽度、长度、面积和半径测量)、表面粗糙度和粒径分析。它的软件能够对测量结果进行有效的评估、分析和报告,从而节省时间并提高总体准确性。WS 3840还以高精度、重复性和可靠性着称。它具有热电控制资产和空气悬架,以减少噪音和振动,更好的工作环境。它配备了高效的隔热系统,以保证精确的温度,从而提高测量结果的稳定性和重复性。此外,它的自动校准模型通过将仪器漂移保持在指定的值内来确保测量的最高精度。总之,WS3840是一种功能强大的晶圆测试和计量设备,旨在为晶圆和元件提供可靠和准确的测量。其集成成像系统、精确的电动X-Y-Z级以及可编程扫描模式,使其成为各种测试和计量任务的通用解决方桉。这一单元还以其可重复性和可靠性着称,这使得它每次都能提供精确精确的测量结果。
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