二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV #9004644 待售

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THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV
已售出
ID: 9004644
优质的: 1997
Film Thickness Measurement system Computer and monitor included No Cognex board No hard disk Can be inspected 1997 vintage.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 3260 DUV是一种高端非接触式晶圆测试和计量设备,设计用于与先进集成电路(IC)技术相关的过程。它利用独特的全角相位测量(APM)成像技术实时测量晶片的物理特性。用于精确测量物理性质,如蚀刻高度剖面、反射率剖面、电介质堆栈等。这些物理性质测量使得晶圆IC制造过程中的许多重要参数得以优化。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 3260DUV能够测量多达16种不同的IC材料,包括硅、砷化氙(GaAs)、氙(Ge)、和氧化​​氙(Ta2O5)。它有一个四检测器阵列,以确保精确的测量可以从多角度的晶圆。这是需要高精度和精确度的半导体过程中的一个非常宝贵的特性。光学系统的波长范围为193-1535 nm,可确保对各种材料和应用进行测量。除了这个令人印象深刻的光学单元之外,OPTIPROBE 3260 DUV还具有一个集成扫描头,可以在一次扫描中测量多达四个晶圆探测点。这是涉及多个过程步骤或晶圆测量验证的应用的理想选择。扫描还能够生成算法上最优的扫描模式,以确保每次精确和可重复的测量。此外,OPTIPROBE 3260DUV还提供了许多其他优点,例如能够对厚度不同的晶片进行测量、执行大量并行扫描过程以及滤除信号中的噪声。先进的内置控制软件与各种数据分析和控制系统兼容,也提供了高度的灵活性和自动化。这样可以确保更高的测量精度、可重复性和可靠性。综上所述,THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV提供了一台全面先进的晶圆测试和计量机器。它的Quad探测器阵列、宽波长范围和集成扫描头允许在多个角度和过程步骤上进行高度精确和可靠的测量。此外,集成控制软件确保了优化的扫描过程和更高的自动化水平。这使得THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260DUV先进的IC制造工艺的理想选择。
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