二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205 #62641 待售

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ID: 62641
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Thin film measurement system, 8" Process Type: Single Wafer CE Marked Cassette Interface: 2 Asyst SMIF Loadports Wafer Handler Type: Puck PRI Robot – Single Blade Measurement Techniques: Beam Profile Reflectometer Beam Profile Ellipsometer Deep Ultra-Violet Reflectance Ionizer in Mini-environment (MENV) OS Software: Win XP Application SW: TFMS-XP V3.2R1 SR-0 P6 HF2 V 100-120 / 200-240, A 20, Single Phase, Freq 50 / 60Hz 2001 vintage.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 5205是一种晶圆测试和计量设备,被设计为执行各类晶圆测试和计量的功能齐全的平台。它能够提供关于有源和非有源晶片模具和后端格式的高度准确的数据。该平台利用行之有效的技术,获得单个模具或整个晶片的精确扫描和电气性能剖面,以及三维宽场光学和其他光学测量。该平台以旋转晶片级为基础,包括多项消除离轴误差的措施,优化了模模可重复性和系统线性。这种设计使得该单元能够精确测量单个模具或整个晶片的形状、表面和电性能。OPTIBE 5205还配备了专有的热波成像机,提供用于定位模具故障和热点识别的二维红外成像。多通道波形采集还可以从连接到栅极和漏极的设备和设备捕获晶片上的电波形。对于计量,该工具有一个集成的计量阶段,使得它适合执行光学和其他计量。计量阶段与高分辨率视频成像资产集成在一起,提供放大和焦点校正以及地形成像。它也可用于纳米级光学成像。该模型具有基于触摸屏的直观控制器,可简化操作并与手动和自动操作无缝配合使用。此外,THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205配备了提供模式识别技术和Autofocus功能的先进视觉设备。它可以配置为执行自动电路测量和软件辅助模具识别和位置检测。这种先进的视觉系统使得它适用于自动故障分析,如横截面分析和3D迭加对齐。最后,OPTIPROBE 5205具有先进的特性,使其成为理想的晶圆测试和计量单元,适用于IC封装、MEMS、SiP和装配等应用。机器还提供有源和非有源晶片格式的精确数据,使其适用于广泛的晶片测试和计量任务。
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