二手 VEECO CXR-V #186444 待售

VEECO CXR-V是为半导体工业设计的多功能晶圆测试和计量设备。它是一个全自动系统，对半导体器件提供准确、可靠、可重复的表面评估。CXR-V利用非接触传感技术测量晶片表面的地形、物理形状、表面粗糙度和其他关键参数。该单元包括反射计、微辐射法、电容测量、椭圆偏振法和自动缺陷检查等多种应用。VEECO CXR-V的反射计设计用于提供各种材料的薄膜厚度、地形、应力和组成的精确测量。然后对测量值进行评估,以确定设备的表面特性。它也使用椭圆偏振法（ellipsometry），一种无损光学技术，来量化薄膜性质。椭圆偏振法可用于测量材料和薄膜的厚度和光学常数。该机包括一个具有无接触传感器的高精度电容测量单元，用于测量设备的板材电阻和板材载流子浓度等电气参数。该工具还包括一个微辐射计，它能够以亚微米精度测量样品的微米尺度表面温度。该资产支持自动缺陷检查，它使用高级算法来识别晶圆表面的缺陷粒子。这可用于快速识别和评估潜在缺陷,同时消除手动过程和消除操作员错误。用户界面允许轻松操作和监控模型的性能。CXR-V设计用于各种晶圆测试和计量应用，使其成为半导体制造商经济高效、高性能的解决方桉。