二手 WYKO / VEECO PZ-06-SG-FF #193297 待售

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ID: 193297
Head Measurement System, parts system.
WYKO/VEECO PZ-06-SG-FF是用于制造微电子元件的晶圆测试和计量设备。该系统由晶圆抓取器和虚拟计量室两个关键组成。晶圆抓取器最多可容纳六个标准150毫米晶圆直径,并轻轻夹紧它们到位。抓取器使技术人员能够准确地将晶片移入计量室,并具有可调节的刀片,以便为每种晶片类型定制抓地力设置。虚拟计量室是该单元的关键组成部分,因为它容纳了所有用于测量晶圆元件性能的光学和电气传感和诊断仪器。在腔室内部,使用CCD摄像头和双像素跟踪机来保持晶片的定位和对齐,而先进的运动控制功能则可以保持一切对齐和对齐。该工具还具有在线监控资产,可为每个晶圆生成实时测试读数。此信息已存储,可供以后查看,以确保生产操作的可重复性和准确性。在计量室内,先进的激光测量工具可以测量尺寸和特征,精度± 0.2微米。激光工具还可以测量螺距、过度蚀刻深度、共面度和凹槽宽度等多个参数。为了进行电气测试,该型号具有超低电流传感器,允许电流降至1 Femtoamp (1 10^−15安培)。该设备还具有先进的温度控制,温度低至-197摄氏度。这样可以保持温度的一致性,并确保保持测量精度,同时仍允许灵活地适应一系列温度要求。此外,WYKO PZ-06-SG-FF还包含一系列安全功能,如防止电击、自动安全截止开关和监控功能,这些功能可提醒技术人员注意潜在问题或安全隐患。总体而言,VEECO PZ-06-SG-FF是一个先进的系统,在测试和测量微电子元件时提供无与伦比的精度、灵活性和安全措施。其复杂的功能和自动化功能使精密生产能够满足最高质量的要求。
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