二手 MODUTEK QA14-DA1 #9081711 待售

MODUTEK QA14-DA1，由MODUTEK公司制造，是一个湿式加工站，用于各种先进的半导体生产工艺。QA14-DA1能够处理200毫米至300毫米尺寸的基板,总加工面积为10,240平方英寸。其他功能还包括深度为18英寸的加工室、可容纳多达六个盒式磁带的装载端口、用于调节气体分配的气箱以及长寿命的膜传递单元。该站的密封不锈钢设计确保了生产过程中的最大效率。它还允许执行一系列自动化过程，如化学制剂、抗蚀条、蚀刻、清洁和干燥。这使得湿站适合于晶圆制造、光掩模制造等高科技产业的应用。该站配备了强大的单相泵系统，利用离心泵和正排量泵的溷合。这种灵活的系统能够以每分钟10、20、30和40升的四种流量中的任何一种传输化学品、液体和其他材料。该系统还提供了一些额外的功能，如空气搅拌、空气油底壳冒泡和水文脉冲操作。该站的设计旨在提供严格的废物管理和方便用户。它支持一系列废物处理能力，例如使用普通废物罐、管理多种类型废物的能力以及关于废物数量的持续反馈。这使得它适合在必须遵守严格废物管理协议的大容量晶圆制造环境中使用。湿站还便于快速、方便用户的操作。用户界面提供了可自定义的配方、自动生命参数监控以及详细的维护记录。此外,它的模块化设计允许方便的服务和维护.总体而言,MODUTEK QA14-DA1提供强大的功能和多用途的性能,使其适合在一系列高级半导体工艺中使用。