二手 SANKYO WH80 #293608546 待售

SANKYO WH80湿站是一种用于半导体晶片湿加工的多合一机器。它旨在为光刻涂层、开发、计量和后处理等关键工艺提供最大程度的准确性和可靠性。该设备具有直观的用户界面、广泛的可自定义自动化选项以及先进的控制软件，使其成为高端半导体生产线的绝佳选择。机器配备了控制器和智能机器人，将基板从一个站移动到另一个站。这台机器有一个大型机，有许多可互换的臂和喷嘴组件，允许灵活的基板处理。大型机还包括晶圆清洗站、路由站和闸站，控制和路由晶圆。在光敏涂层站，晶片会自动涂上光敏涂层和自旋干燥。开发站能够开发出一系列抗蚀剂型材，包括薄的和坚硬的抗蚀剂、边缘珠抗蚀剂和负性抗蚀剂。该机还能清洗和干燥晶片，以及提供湿化工站、污泥过滤站和退火站。WH80湿电站还设有一个综合计量系统，可用于测量晶圆生产的各种参数，如晶圆尺寸、电阻率、蚀刻深度和表面粗糙度。该单元还提供了详细的分析数据，如迭加性能和过程可重复性。机器连接到控制软件，允许用户远程控制其功能。此外，由于软件的内置优化算法，软件可用于优化生产过程。SANKYO WH80湿站对于半导体制造商来说是一个非常宝贵的工具，为湿处理提供了一个多合一的解决方桉。它是一种可靠、经济高效的工具,可提供顶级性能和准确性。WH80湿式工作站具有广泛的自动化选项、全面的计量能力和用户友好的设计,是高效生产运行的绝佳选择。