二手步进式光刻机待售
晶片步进器是半导体製造过程中使用的关键工具，用于在硅晶片上产生集成电路（IC）。它充当投影光刻系统，将电路设计的错综复杂的图样传递到晶圆表面。晶片步进器的核心部件是透镜系统。它由高质量的透镜组成，以极高的精度聚焦和投射电路模式到晶片上。透镜系统在确定图样传输的分辨率和精度方面起着至关重要的作用。晶片步进器采用先进的成像技术，利用紫外线光源来提高分辨率，并允许晶片上较小的特征尺寸。光源通过一个标线，一个包含电路图样的透明板，然后通过透镜系统投射到晶圆表面。晶片在透镜系统下方逐步移动，以暴露不同的区域，确保整个晶片有图样。晶圆步进器的关键参数包括曝光时间、数值孔径、聚焦深度和磁场大小。曝光时间是指每个晶片步长的光照持续时间，而数值孔径决定了系统的分辨率能力。聚焦深度表示透镜和晶片之间允许的距离，允许晶片平坦度的变化。字段大小定义了可以在单个曝光中阵列化的区域。晶圆步进器对于半导体制造是必不可少的，使得能够生产具有微型设备的高度复杂的IC。它们不断提高分辨率的能力对于推动半导体工业的指数增长和促进先进技术应用的发展至关重要。
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