二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #190251 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种革命性的设备，旨在帮助半导体制造过程。它是一个20 kW的等离子体系统，设计用于高达405 mm的基材尺寸，能够提供一系列的高密度等离子体工艺。它具有高度的自动化，具有集成的控制和用户界面，使操作更加简单和高效。该单元包括四个主要组成部分：等离子体室、放电室、电子控制和电源。等离子体腔采用高档铝制成，底部隔热层最大限度地减少传热。其形状为均匀的等离子体密度和分布而设计，提供了更高的精度和可重复性。放电室设计有单面气体入口，以降低操作复杂性，提高生长/沉积速率的均匀性。AMAT P-5000先进的功率转换器为线圈提供充分、均匀的功率，提供准确、可重复的结果，确保基板温度得到良好控制。该机还具有高性能控制层，具有用户友好的操作员界面和控制逻辑，使操作员能够快速准确地编程配方、参数和过程。APPLICED MATERIALS P 5000反应器在半导体加工中提供优异的性能、生产率和可重复性。其高效的功率传递和均匀的等离子体分配有助于确保一致的结果。先进的用户界面使操作简单高效,一致的结果既节省了成本,又提高了质量。应用材料P5000是半导体制造的理想解决方桉。