二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190768 待售
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ID: 190768
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Diffusion furnace, 8"
Specifications:
- AP-FTP oxidation current configuration (Tunnel Ox)
- “Thin” oxide
- Atmospheric torch
- 50 production wafers load size
- Boat rotation
- H2 detection and digital gas monitor
- 72.4 KVA transformers
Gas System
- House N2 2x
- UHP N2 (cylinder) 1x
- Argon
- O2
- H2
- HCl
General
- Wafer type: Notch type
- Signal tower: 3 color (RYG)
- I/O Type
- AGV compatibility: none
- Rapid cooling unit: use
- Load lock system: None
- Production wafer qty: max 150 wafer/batch
Controller and Software
- HD version: WAVES V2.48 R007[S801FE-0005]
- Release date: 2006/6/27
- HDD Capacity: 4.3 GB
Power
- Heater: 50/60Hz, 480V, 3Ph
- Controller: 50/60Hz, 208V, 1Ph
- Pump: none
Controllers
- Main system controller: WAVES, with back remote
- Temperature controller: Model-560
- Pressure controller: Model-none
- Mecha controller: T-BAWL
- Burn controller: HEC Pyro controller
- MFC controller: Model-none
MFC1 Tylan Ar 30SLM
MFC2 Tylan O2 10SLM
MFC3 Tylan O2 30SLM
MFC4 Tylan O2 10SLM
MFC5 Tylan O2 3SLM
MFC6 Tylan H2 10SLM
MFC7 Tylan H2 3SLM
MFC8 Tylan HCl 3SLM
MFC9 Tylan N2 30SLM
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种先进的扩散炉，旨在在高温过程中提供更高的控制水平和精度。它具有高度耐用的设计和结构,具有先进的电源和控制器,可实现多种基板尺寸和形状的精确结果。TEL ALPHA-8S提供卓越的温度均匀性,非常适合用于半导体制造过程,如氧化物沉积,或用于设备原型设计,包括MEMS/NEMS。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的关键特徵是其Dual Hot Zone设备，提供两种可独立调节的加热元件，以达到最高性能和温度均匀性。每个加热区的温度可以精确控制和监测，从而实现精确和可重复的过程结果。热区封闭在惰性大气中，在炉膛内提供稳定的热环境，防止污染和氧化。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S具有可编程的运行结束关闭功能,可确保系统在达到所需结果时停止该过程。它还有一个先进的气动处理单元，在加工过程中牢固地固定基板，允许快速可靠的操作。炉盖可以拆卸，以便于接触基板，并具有安全的边缘保护，以避免意外接触热表面。ALPHA-8 S还配备了强大的控制机器，允许对整个过程进行单点计算机控制。使用内置的Japan Modular Auto Programming软件,用户可以轻松地对任何高级处理选项和设置进行编程。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S还包括一个自动化晶圆转运站，提供晶圆处理和提取能力，以提高吞吐量和重复性。它既适用于全晶片，也适用于小块，允许有效和可靠地转移基板。此外，ALPHA-8S还配有各种先进配件，包括气体喷射系统、气体头、泵送系统和工艺监测器。这些附件允许全面的过程控制,并对扩散过程提供更大的控制。综上所述，TEL Alpha 8S是一种先进的扩散炉，专为提供卓越的工艺控制和性能而设计。它具有许多功能和附件,以确保高效可靠的操作。
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