二手 HOE IE HIMJ-0072 #9132945 待售
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HOE IE HIMJ-0072是由HOE(均质有机电子)开发的光刻设备,利用新型凹版印刷技术和改进的元件。这种光刻系统用于生产高分辨率、低成本、低电压的电致发光显示器。HIMJ-0072单元包括一个基底光刻基板和两个彩色沉积层。基底底物是一层透明的氧化铁锡(ITO)膜,带有退火的氧化锡(ATO)/氧化钛(TiO2)屏障层。这种基底被设计为提供均匀的覆盖和低阻力的材料在上面的两个色层的沉积使用。颜色沉积层采用两种不同的蒸发工艺形成:利用金属面罩的电阻蒸发工艺和利用半导体面罩的直接蒸发工艺。第一层是负色调光抗蚀剂,在电阻蒸发过程中使用单个光掩模进行阵列处理。该层被设计为导电模式,将作为第二沉积层中电致发光材料的导向。第二层由电致发光荧光材料组成,采用直接蒸发工艺沉积。这两层的组合提供了既低电压又低成本的高分辨率显示。第二层磷光体材料的层厚度采用热控沉积工艺控制。显示器的分辨率也因使用亚微米分辨率的光掩码而保持较高。HOE IE HIMJ-0072光刻机适合用于生产分辨率提高、成本低的电致发光显示器。此工具设计为与现有流程兼容,非常适合以令人印象深刻的精确度生成高度详细的模式。由于其低压特性,该资产可用于必须将功耗保持在最低限度的应用中。
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