二手扩散炉&配件待售

扩散炉和配件在半导体工业中起着至关重要的作用,特别是在硅片上制造薄膜的过程中。这些炉的设计提供了一个受控的环境,确保了扩散过程的精确度和准确性。扩散炉由几个关键部件组成,包括炉膛、气体输送系统、温度控制系统和晶圆旋转木马。炉膛是放置晶片并经受高温的地方,通常在800至1200摄氏度之间。这种高温使掺杂原子扩散到硅基板中,改变了它的电性能。气体输送系统负责将掺杂气体输送到炉膛。根据最终产品所需的电性能仔细选择这些气体。温度控制系统确保炉子在所需温度下运行,并在整个过程中保持温度均匀性。晶片旋转木马在扩散过程中将硅晶片固定并旋转。这种旋转确保了掺杂气体均匀分布在晶片上,导致均匀掺杂。除了扩散炉外,还有几个常用的附件与炉结合使用。其中包括在扩散过程中保持晶片的石英船,以及安全高效处理晶片的装载工具。总体而言,扩散炉和配件是半导体工业中必不可少的工具,能够精确控制掺杂原子并将其均匀分布到硅片上。这在高性能半导体器件的制造中起着至关重要的作用。

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