二手 ASM Cheetah II #293633714 待售

ASM猎豹II是为生产高性能、高可靠性的微电子器件和MEMS而设计的先进晶圆粘合设备。猎豹II为各种不同类型的晶片键合提供了前所未有的工艺控制和自动化水平，包括低温晶片键合、激光热压缩键合和共晶键合。ASM猎豹II具有坚固可靠的设计,允许高产量的可靠可重复处理。猎豹II包括一个专用的粘合室，允许精确的温度和压力控制。该系统还包括一个高精度的定位器，允许精确控制对准和放置粘合晶片。ASM Cheetah II还具有高速晶圆分配单元,可提高吞吐量并减少晶圆处理中的错误。猎豹II可以执行多种不同的晶片键合过程，包括阳极键合、直接熔合键合和共晶键合。在阳极键合中，在晶片加热时对其施加电场，使其键合在一起。直接聚变键合需要直接加热晶片，从而产生局部热梯度，迫使晶片在没有涂层的情况下键合。共晶键合的方法是先用细焊料膜涂覆粘合剂区域，然后用激光熔化焊料。ASM猎豹II包括几种可配置的流程设置,可用于根据特定的应用程序要求定制流程。该机器包括一个具有旋转、平移和倾斜功能的多轴级，确保各种晶片类型的晶片精确对准和放置。猎豹II还具有先进的光学和热控制功能，允许精确的热和光学测量，以实现最大的工艺重复性。ASM猎豹II能够产生超过1,000 N的粘合力，并在几十个纳米牛顿提供可重复性。该工具支持1.5 kW激光功率，能够粘合厚度在200至1000 μ m之间的晶片。猎豹II还包含一个健壮的软件套件，允许用户对晶圆粘结序列进行编程，并存储重复生产运行的工艺配方。ASM猎豹II专为低成本、高产量、可靠生产微电子和MEMS器件而设计。该资产提供了可重复的高精度晶片键合，从而提高了生产微电子和微电子设备的产量和质量。