二手 ASM Eagle 60XL #9302482 待售

ASM Eagle 60XL是一种聚焦离子束（FIB）键合工具，用于精确可靠的晶圆级键合。Eagle 60XL专为广泛的金属键合应用而设计，包括铜和铝合金，以及各种半导体、光电和光机械装置。这种FIB工具由四个主要组成部分组成：一个高真空室、一个气体注入系统、一个带电粒子束柱和一个拆卸/熔合平台。真空室提供了一个没有空气和气体分子的环境，带电粒子束柱允许聚焦的离子束瞄准晶片并将它们结合在一起。气体注入系统为环境增加了必要的惰性气体，以控制光束的能量和速度，而去熔化/熔融平台则允许金属或半导体材料熔化并连接在一起。ASM Eagle 60XL为用户提供了一系列精度高达1纳米的粘合选项。它还提供了广泛的温度、压力和气体选项来优化过程。拆卸/熔合平台设计为提供均匀的温度剖面,并精确控制过程的温度、压力和持续时间。除了粘合金属外，Eagle 60XL还提供了现场工艺监控、目标导向控制、自动热循环、产量监控等一系列其他特性和功能。原位过程监控允许对键合参数进行精确控制，而面向目标的控件则允许用户预设和验证多个进程参数。ASM Eagle 60XL还提供了执行自动热循环的能力,用于验证过程可靠性。Eagle 60XL包含自动热融合功能,可实现可靠的吞吐量和性能,而其自动产量监控功能可确保债券的质量最高。总体而言，ASM Eagle 60XL是一种先进的高精度FIB粘合工具，非常适合那些需要可靠和精确的晶圆级粘合的人。它提供了全方位的金属结合，以及各种额外的特性和功能。高精度、自动化、过程监测、热循环和产量监测的结合使Eagle 60XL可靠的金属或半导体键合的理想选择。