二手 ASM Hummingbird #9047420 待售
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ASM蜂鸟是为微电子工业中的半导体应用而设计的自动化晶圆粘合设备。它是由智能控制器、工业伺服驱动系统和集成结合头组成的全自动机器。智能控制器是设备的主要组成部分,具有众多集成传感器和反馈回路,使机器能够优化粘结过程。它还便于通过以太网接口进行远程控制和诊断,以便于操作和故障排除。该机还通过无刷伺服电机和精密编码器的组合提供精确的运动控制,以实现可重复的结果。集成粘结头是一种专用工具,用于使用多种材料将两个曲面连接在一起。头部有一个坚固的夹紧臂,在粘结形成过程中将基板牢固地固定到位,还有一个加热元件,可以进行精确的温度控制。该刀具还能够改变接触力和速度,以达到最大的粘合效率。蜂鸟资产被设计为执行各种各样的晶圆粘合操作,包括模具到基板以及堆叠基板。该模型与现有半导体材料和工艺兼容,包括光刻、CMP、电化学沉积和碰撞。它还能够以最低的校准要求在各种各样的环境条件下运行。除了其可靠的性能外,ASM蜂鸟还小巧轻巧,使用方便。直观的用户界面允许最短的设置时间,并为用户提供实时设备状态和反馈,这些信息和反馈可以保存下来供以后查看。因此,对于那些在不牺牲性能或精度的情况下寻求自动粘合系统的用户来说,这是一个极好的选择。
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