二手 ASM iHawk #9393465 待售
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ASM iHawk是一种全自动粘合器设备,设计用于半导体晶片和基板上的模具和测试探针的高精度粘合。该系统包括一个高精度运动平台、激光基底扫描和放置,以及一系列键头选项,包括集成环氧树脂分配和激光修剪。该单元提供准静态和动态结合以及可选的MEMS微操作器技术。该机具有双轴X/Y电动级和电动Z轴,可提高放置精度。该级具有20微米分辨率,双向总级范围为250毫米。此外,运动平台高度刚性和热隔离,以保持晶片在粘合过程中的安全到位。该平台还具有用于高级工艺监控的高精度触摸传感器。该工具还具有激光基底扫描模块,与基于视觉的解决方桉相比,它提供了更高的准确性和可重复性。激光模块采用了最新的MEMS定位技术,具有两层传感,总分辨率高达1微米。它还一次扫描多达五种不同的基板,允许快速的基板加工。ASM I HAWK键合器还具有一系列键头选项,包括集成环氧树脂分配,用于细腻部件的非挥发性键合,以及激光修剪,以完全控制键合过程。资产还具有一系列其他选项,包括可选的对准和过程监测显微镜。此外,粘合器还配备了直观、实时的操作员界面,可直观控制整个模型。总体而言,IHawk是一种全自动、高精度的粘合器设备,设计用于模具和测试探头的高精度粘合。该系统包括一系列功能,包括高精度运动平台、基于激光的基板扫描和放置,以及一系列键头选项。此外,该单元还提供准静态和动态结合,以及可选的MEMS微操作器技术,用于全面的过程控制。
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