二手 BREWER SCIENCE 1300CSX #293656541 待售

BREWER SCIENCE 1300CSX是一种晶片粘合设备，用于硅片和其他基材的临时粘合和去键。该系统有手动或自动两种配置，两者的设计都能提供高精度和一致的粘结质量。1300CSX采用自动晶片对准装置，单轴精度± 10 µm。该机器能够测量和补偿晶片接触时的弓和扭曲。这样就不需要手动对准晶片,并提供可重复的对准精度。该工具还具有集成的流程监控资产,可提供有关温度、力、对准和位移等变量的反馈。该模型采用高温扩散粘结工艺设计，允许粘结温度高达850 °C。这使得它适合于多种应用和材料，包括热塑性塑料、玻璃薯条和金属。它还配备了三维晶圆处理机构，允许将粘合的基板精确放置到卡盘上。BREWER SCIENCE 1300CSX配备了多种工艺工具，以提高精度和吞吐量。其中包括快速更换卡盘设备、自动化视觉系统、高级热过程控制和动态物种控制。该单元设计用于每秒1晶圆的吞吐量，并具有多种预设配方，以简化工艺开发。该机还提供多种安全措施，确保用户和其他人员的安全和福祉，包括互锁安全门工具、安全帘和氧气监测仪。有许多数据输出选项可用于流程控制、日志记录和流程优化。1300CSX非常适合于半导体和MEMS器件中大批量生产晶片粘结和去键应用。该资产易于使用,提供精确的过程控制,并提供可靠的过程结果。