二手 DAGE 4000 #9267276 待售

DAGE 4000是一种超精密晶圆键合器，旨在实现半导体元件的高效处理。凭借其获得专利的"平滑移动"直接驱动级系统,4000提供了非常快速和精确的晶片对准,从而实现了一致和可靠的粘结质量。该粘合剂利用创新技术维持亚微米的配位，可容纳直径不超过6英寸的晶圆尺寸。DAGE 4000采用了最先进的高真空系统，能够达到10-6 Torr，为理想的晶圆放置和粘合提供了可靠的环境。该加速器使用一微米可重复性阶段和基于编码器的反馈进行精确对齐，从而为每个晶片提供高精度和重复性。它还具有强大的结合头与集成加热器和Z轴运动为精确编程和控制。为提高精度和性能,4000提供了多种有用的增强功能,如图像配准、自动表面粗糙度检测和自动对焦。在温度控制方面，粘合剂包括一种专有的热壁真空卡盘，具有先进的热管理功能，便于在整个晶片上均匀传热和均匀的粘合线温度。机器的软件接口支持本地和远程操作，允许操作员和接合器之间的轻松通信。该软件还包含各种有用的工具，以确保精度和一致的晶片到晶片的性能。界面提供晶圆放置算法的图形视图，以及对许多键合参数的参数控制，使微调易于优化过程。此外,DAGE 4000还配备了一系列伺服电机,可在粘合器的所有六个轴上实现全方位的运动操作。这允许复杂的表面轮廓,并且可以在不牺牲速度或精度的情况下最大化键线控制。电机还提供了可靠的动态反馈回路，以增强运动稳定性和热管理。4000提供了卓越的特性组合,为各种半导体器件提供了卓越的粘结质量和增强的粘合能力。其先进的软件和硬件使其成为任何期望持续高质量生产成果的半导体生产线的必备产品。