二手 F&K DELVOTEC 6200 #293760943 待售

F&K DELVOTEC 6200是一种用于互连应用的先进粘合设备。它是一个功能齐全的沉积系统，用于各种过程，从电子束蒸发（EBE）、溅射沉积、化学束沉积、物理气相沉积（PVD）和共晶键合技术。此多流程单元提供了一系列功能,包括：通过自动配方驱动的软件和直观的图形用户界面快速轻松地操作。可调工艺参数,包括薄膜厚度,沉积速率,加热和配方设置.控制沉积速度和预热功能精确控制沉积速度和温度,以保持膜的质量和均匀性。可变等离子体蚀刻选项,包括工艺设置和软件定制集成传感器可配置机器设计,以满足客户特定的工艺/应用要求。6200提供了强大而简单的工艺配方,可节省时间并提高工艺结果的可重复性。2D路径开发工具使用户能够自定义、开发和存储沉积过程配方。该工具可以配置各种源、工艺气体、腔室和排气接口选项，以适应客户的应用。不锈钢室提供的高水平真空控制和集成闭环水冷资产大大减少了工艺误差，使薄膜质量可靠。高功率的平面磁控管溅射器可以处理多种材料，使复杂结构的涂层在一个单一的过程中。EBE和溅射源中的独立热控制器提高了沉积均匀性和片对片的可重复性。F&K DELVOTEC 6200还具有多种集成工艺扫描仪，包括涡流、超声波和内外膜厚度测量探针。这些自动传感器为用户提供了自动过程反馈,方便了错误诊断和纠正。该模型设计为最大限度地提高吞吐量,具有超快的装卸功能,可轻松与自动化物料处理系统集成。先进的自动化功能、过程控制和反馈、质量控制选项和集成的安全功能使6200成为市场上最好的纽带之一。适用于各种应用，提供了更好的吞吐量、统一性、可重复性和质量。通过将高沉积速率和过程柔韧性相结合，实现了高沉积速率，具有优异的表面光洁度和基板附着力。