二手 TORAY FC 3000L2 #293609702 待售
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TORAY FC 3000L2是设计用于生产高性能半导体元件的高精度等离子体激活键合系统。它利用低温等离子体活化工艺,产生坚固可靠的键,而不会使半导体材料热降解。FC 3000L2能够在各种半导体基板上进行细间距等离子体激活键合,最小键合间距为0.25mm。等离子体活化过程能够转化即使是最具挑战性的底物的表面,包括聚酰亚胺、SU-8环氧和氟聚合物。等离子体活化键合工艺不需要使用任何化学品,从而消除了危险废物处置的需要。取而代之的是,基板表面被在键合室中产生的低能介电屏障放电激活。低能放电对基板的热应力最小,避免了需要一个困难和昂贵的预粘结清洗过程。TORAY FC 3000L2使用流程控制系统,该系统具有全面的自动化流程功能以及实时跟踪和图形显示功能。该系统允许快速设置和微调参数,以无限期地优化过程的质量和一致性。FC 3000L2是一种精密仪器,特别注重刀具人体工程学,提供卓越的精度和可重复性。它精巧的设计,内置安全和环境控制,使其成为各种高性能应用程序的理想选择。TORAY FC 3000L2与多种基材兼容,能够以最短的时间投入产生优质债券。其可靠性和性能使得其在高性能半导体元件的生产中不可或缺。
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