二手 SEMITOOL Storm 300 #9211217 待售

SEMITOOL Storm 300
ID: 9211217
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Carrier cleaner, 12" 2010 vintage.
SEMITOOL Storm 300是半导体行业的一款箱式洗衣机。它是为化学机械平面化(CMP)和湿式清洁等先进工艺而设计的。Storm 300采用了先进的设计,包括一些功能,可实现卓越的清洁度、卓越的工艺控制和更高的吞吐量。SEMITOOL Storm 300旨在提供先进的清洁能力、精确的过程控制和高速过程吞吐量。它的设计促进了卓越的热量和污染物控制,确保了一个统一的质量结果。风暴300采用闭环、再循环、冷热DIW设备,配有多个循环泵,以及温度控制系统。SEMITOOL Storm 300有六个独立调节的喷雾室和九个冷热冲洗罐,独立控制温度。它还拥有整体式、全自动的冷热化学输送系统,以及一个独特的内部单元,用于单个加工罐的采样和排水。风暴300提供了对水流、温度和化学浓度等冲洗参数的优越控制。SEMITOOL Storm 300有一个多区固化炉,旨在快速加热零件,提供更清洁、更快、更可靠的干燥过程。该烤箱还包括可调风速控制机和温度控制工具。还包括一个内部排气资产,用于排出挥发性化合物,以确保卓越的清洁度。Storm 300还为各种可选的湿式板凳配件提供了一个腔室,包括第二个固化烤箱和过滤器/泵总成。SEMITOOL Storm 300设计了强大的安全系统,包括门互锁、真空感应和高温预警模型。Storm 300还具有板载数据记录和控制设备,有助于确保准确和可重复的过程参数。SEMITOOL Storm 300旨在满足高容量半导体制造的严格要求,它提供了先进、可靠的设计和优越的工艺控制。
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