二手 SEMITOOL Storm III #293816300 待售

ID: 293816300
优质的: 1998
Wafer cassette / Box clean system 1998 vintage.
SEMITOOL Storm III是一款盒式洗衣机,旨在为半导体、制药、航空航天和电子行业提供一致、可重复的清洁成果。这种先进的设备高度自动化,配有三区温控洗涤室和三个可调压力喷嘴。SEMITOOL STORMIII设计为闭环系统,确保防止挥发性有机化合物(VOCs)释放。洗涤室的温度可调节至80°C,可有效清洁半刚性和柔性基板材料。一个可选的氮气或氙气单元进一步有助于清洁细腻的底物。除了出色的清洁品质,Storm III高度自动化。所有操作都是可编程的,允许用户根据需要定义清洗、冲洗、干燥和德加序列。STORMIII可容纳其1000 x 1000 x 800mm垫圈内的大量基板,用户可以选择单、多路或连续运行的程序,确保优化的吞吐量和减少浪费。SEMITOOL Storm III专为提供卓越的清洁效果而设计。提供标准、精密和测试清洁器,使用户能够实现超清洁和无颗粒的表面。箱式洗衣机配有HEPA过滤器,在清洁水再循环前清除颗粒物,以避免腔内交叉污染,而闭环机则设计为满足或超过SEMI S2洁净室的要求。SEMITOOL STORMIII的护理和维护工作旨在实现无忧和方便用户。"智能电子"工具旨在检测任何故障并提供警报,而ESD资产到位以降低静电放电风险。盒式洗衣机的大触摸屏提供了易于使用的人机界面,而服务日志记录了所有的维护和操作活动。Storm III携带ATEX认证,确保箱式洗衣机适合在爆炸性大气中使用。这款箱式洗衣机还包括一整套有用的配件,如零件送料机、推车洗衣机、第三方烘干机和过滤模型。
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