二手 LAM RESEARCH 2080 TCU #9252338 待售

LAM RESEARCH 2080 TCU是一种冷却器循环换热器，旨在为半导体晶圆加工中使用的液体提供可靠高效的传热。它具有全散热能力，是光刻、沉积、蚀刻和CMP工艺等应用的理想选择。该机组采用独特的两级逆流冷凝器/蒸发器设计，由一个不锈钢管壳式热交换器和一个独立的制冷剂电路组成。逆流配置允许蒸发器放置在冷凝器的上游，以达到更高的效率。高壁传热系数也降低了总热负荷要求，允许较低的工作温度。2080 TCU还利用两台有色电动机优化冷却器和晶圆加工流体之间的热传递。这种组合确保了精确和一致的温度控制。马达与两个泵和一个不锈钢文丘里管结合，产生所需的差动压力。还包括一个可调流量控制器，用于调节冷却器的流量，以满足应用的具体要求。LAM RESEARCH 2080 TCU设计方便用户,采用标准的5.7英寸触摸面板,便于访问控制参数。此面板还显示有关系统运行的反馈,包括温度、压力和流量信息。它还包括与其他控制系统的通信，使其易于集成到任何现有的流程中。这种热交换器设计用于清洁、低污染的化学品，确保晶片在整个加工过程中保持清洁。它还具有低维护设计,在峰值效率下运行时需要最小的清洁和维护。总体而言,2080 TCU是需要精确和一致热控制的半导体工艺应用的理想解决方桉。其高效的设计、用户友好的界面和干净的操作，使其成为寻求提高工艺效率的晶圆制造商的绝佳选择。