二手 KOMATSU NTC MWM 442DM #9401391 待售

KOMATSU NTC MWM 442DM是一种现代晶体生长、锯切设备，用于生产高精度、单晶基板。该系统采用高斜角倾斜激光对准器和紧凑的模块化设计,可快速设置、移动和重新配置,以满足多种配置和处理需求。自动锯切模块采用直线电动机驱动器,带有自动夹紧、倾斜和自动定心装置,以确保精确切割。该机还具有多光束和多焦点成像技术，可精确对准和扫描不断增长的基板。该工具的生长腔室具有精确的压电区域加热资产，能够精确控制基板所有区域的加热。通过对温度、大气、氧化和大气压力的精确控制，提高了精度和可重复性。该模型包括一个闭环，氮大气控制设备，确保精确和一致的氧化物水平，可重复基材质量。该系统还包括用于实时检查和保证精确操作条件的温度和大气传感器。此外，该装置还配备了独特的高真空、超纯化工艺，以减少颗粒污染、污染物颗粒和表面粗糙度。这样可以确保更持久的基材和一致、高质量的最终产品。为了达到最大吞吐量，机器包括一个连续旋转的6轴机械臂。这种精确控制的机器人模块确保了过程中快速准确的移动。自动控制工具以最小的位置和步长变化来不断调整旋转机械臂的速度和压力。该资产被设计用于使用范围最广的晶圆，最大晶圆尺寸为400毫米。该模型还具有去除表面缺陷的爆珠表面处理、增强表面质量的高压化学机械抛光处理和提高结晶结构域稳定性的热处理工艺。KOMATSU NTC MWM-442DM是生产单晶基板的可靠高精度设备。它高效、准确，为各种应用提供优质基材。