二手 KOMATSU NTC MWM 444B #9289849 待售
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KOMATSU NTC MWM 444B是一种先进的晶体生长、锯切和切片设备,设计用于生产用于光伏、发光二极管、显示技术等应用的高质量半导体基板。该系统采用垂直Bridgman和水平Czochralski工艺,能够实现高度自动化的多级晶体生长和切片工艺。该机组配备了8位晶体生长炉,允许同时生产8种基材。该炉设计为提供高水平的温度均匀性和稳定性,以及有效的晶体冷却。它还装有快速反应气体控制机,可实现精确、可控的晶体生长。锯切阶段采用四个独立的机械臂,每个臂都装有一个12.7厘米的刀片。这些机器人可以编程为在高速和低速下执行精确、快速和精确的切割。机器人由先进的控制装置提供动力,确保操作准确可靠。MWM 444B还配备了计算机控制的成像工具,以保证质量。该资产允许对晶体生长和切片操作进行自动实时监控。在处理每种基板时,将其特性记录到内部硬盘驱动器中,以便进行质量控制和分析。KOMATSU NTC MWM 444B可以与其他设备集成,如晶圆研磨系统和退火系统,用于进一步的基板加工。它也准备在受控惰性大气中使用,允许模型的氮层在处理金属化表面时抑制氧化。该设备经CE标志认证,可使用230V的单相电源运行。
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