二手 KOMATSU PV500D #9228707 待售
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KOMATSU PV500D是为研发先进半导体和电子材料而设计的高性能晶体生长、锯切和切片设备。它是一个多功能系统,能够以高精度和生产率实现单晶生长、切片、锯切的重要过程。PV500D由多种组件组成,包括一个装有冷Crucible馈线装置的真空室、一个晶闸管控制的直流电源和一个负载锁门。它旨在支持在大气、真空或惰性气体中进行的实验。真空室能够达到4E-5毫巴的压力,晶体生长。冷坩埚进料机由石英和石英涂层不锈钢制成。它由一个隔热的不锈钢主体和一个蓝宝石crucible组成。用于晶体生长的crucible可利用电源加热至1300 °C,冷却至700 °C。负载锁门最多可容纳三种不同的基板,用于一批晶体的生长。KOMATSU PV500D现在还支持生长板层压技术(GPLT),用于同时生长大晶体和多个基板。功率设置、压力和温度等负载参数可以使用用户友好的图形用户界面进行控制。此外,该装置还与一台热测绘机集成在一起,以监测crucible中的冷却/加热能力,以确保晶体均匀生长。对于锯切工艺,PV500D配备了Segoma金刚石刀锯和切片手轮。最多可在负载锁门中装载三个基板用于锯切。Segoma锯由于其可调的金刚石刀片,非常适合高精度切片。它还有一个旋转底座,使快速旋转和高精度切割操作。切片手轮用于将晶片从负载锁移动到锯。总体而言,KOMATSU PV500D是一种多用途和生产性的晶体生长、锯切和切片工具,为科学家和研究人员提供了生长高质量单晶并精确切片的能力。其易用性使其成为研究实验室和生产设施的完美工具。
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