二手 MEYER BURGER DW 288 #293645365 待售
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MEYER BURGER DW 288是一款先进的半导体制造设备,设计用于进行晶体生长、锯切和切片操作,精度很高。该系统为成形晶片和模具提供了一个集成的解决方桉,其精度等级小于50毫米。DW 288由三个主要部件组成。第一个组分是晶体生长单元,提供了一系列配备CVD源、原位Si源和退火炉的单晶硅(Si)材料。原位源使30度Si晶体能够生长,直径可达4厘米,厚度可达1毫米。CVD源使Si沉积速率比传统方法快十倍。利用光学显微镜实时监测晶体生长。第二个组件是锯切机,它包括一个自动线锯,用于将Si层分割成单独的模具。锯的特点是钢包金刚石线,由振荡或旋转的线轴送入。它以手动或自动模式操作,允许沿着预定坐标精确切割。第三个组件是切片工具,它采用了专门设计的旋转刀片,能够将晶片切成各种形状和大小。该资产还配备了经过校准的数字刻度,以测量切割晶圆厚度降至0.01毫米。刀片可以向左或向右旋转,以帮助达到所需的厚度。MEYER BURGER DW 288型具有切割速度快、精度高、热变形最小等优点。它还配备了几个确保安全运行的安全功能。该设备可用于创建各种类型的集成电路,包括大功率、微波和微机电系统。
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